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晶元打标机
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WMK 晶圆打标机

用于8~12吋晶圆的识别码激光标记

应用

  • 在8吋/12吋晶圆上标记识别码

 

激光器类型

  • 绿光纳秒固体激光器

 

技术规格

  • 晶圆尺寸 8”~12”
  • 最小芯片尺寸 0.2x 0.2 mm
  • 最小打标尺寸 30x30 um
  • 激光打标深度 3um
  • 加工精度  CPK>1.67 @ tolerance ±50um

 

物料进出

  • 晶舟盒 Wafer cassette
  • 铁环提篮 M-ring cassette
  •  

晶元打标机

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